レーザ照射によるシリコンの除去・変形・接合

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Material Type: 博士論文
Title: レーザ照射によるシリコンの除去・変形・接合
Title Transcription: レーザショウシャニヨルシリコンノジョキョヘンケイセツゴウ
Author/Editor: 細野高史 [著]
Author Heading: 細野, 高史ホソノ, タカシ
Publication, Distribution, etc.: [細野高史]
Publication Date: [2006]
Publication Date (W3CDTF): 2006
Extent: 1冊
Alternative Title: Removal, deformation and bonding processing of silicon by laser irradiation
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成18年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2006
Dissertation Number: 甲第6428号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2006-R416
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008443295
http://id.ndl.go.jp/bib/000008443295
Bibliographic Record Category (NDL): 213