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中性子核変換ドーピングSi半導体(NTD-Si)製造機能拡充のための外部冷却法対応設備の製作(共同研究) (JAEA-technology ; 2006-59)

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中性子核変換ドーピングSi半導体(NTD-Si)製造機能拡充のための外部冷却法対応設備の製作(共同研究)

(JAEA-technology ; 2006-59)

国立国会図書館請求記号
Y251-H1451
国立国会図書館書誌ID
000008463896
資料種別
図書
著者
広瀬彰, 和田茂, 笹島文雄, 楠剛, 亀山巌, 会澤良二, 菊池直之 [著]
出版者
日本原子力研究開発機構
出版年
2007.1
資料形態
ページ数・大きさ等
4, 122p ; 30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
チュウセイシ カク ヘンカン ドーピング Si ハンドウタイ NTD - Si セイゾウ キノウ カクジュウ ノ タメ ノ ガイブ レイキャクホウ タイオウ セツビ ノ セイサク キョウドウ ケンキュウ
著者・編者
広瀬彰, 和田茂, 笹島文雄, 楠剛, 亀山巌, 会澤良二, 菊池直之 [著]
シリーズタイトル
出版年月日等
2007.1
出版年(W3CDTF)
2007
数量
4, 122p
大きさ
30cm