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中性子核変換ドーピングSi半導体(NTD-Si)製造機能拡充のための外部冷却法対応設備の製作(共同研究) (JAEA-technology ; 2006-59)

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中性子核変換ドーピングSi半導体(NTD-Si)製造機能拡充のための外部冷却法対応設備の製作(共同研究)

(JAEA-technology ; 2006-59)

Call No. (NDL)
Y251-H1451
Bibliographic ID of National Diet Library
000008463896
Material type
図書
Author
広瀬彰, 和田茂, 笹島文雄, 楠剛, 亀山巌, 会澤良二, 菊池直之 [著]
Publisher
日本原子力研究開発機構
Publication date
2007.1
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
4, 122p ; 30cm
NDC
-
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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チュウセイシ カク ヘンカン ドーピング Si ハンドウタイ NTD - Si セイゾウ キノウ カクジュウ ノ タメ ノ ガイブ レイキャクホウ タイオウ セツビ ノ セイサク キョウドウ ケンキュウ
Author/Editor
広瀬彰, 和田茂, 笹島文雄, 楠剛, 亀山巌, 会澤良二, 菊池直之 [著]
Publication Date
2007.1
Publication Date (W3CDTF)
2007
Extent
4, 122p
Size
30cm