Studies on diagnostics of activated species in reactive plasmas and their applications to nano and micro fabrications

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on diagnostics of activated species in reactive plasmas and their applications to nano and micro fabrications
• 著者・編者: Keigo Takeda [著]
• 著者標目: 竹田, 圭吾 タケダ, ケイゴ
• 出版事項: [Keigo Takeda]
• 出版年月日等: [2007]
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 反応性プラズマ中の活性種の診断およびナノ・マイクロ加工への応用に関する研究 ハンノウセイ プラズマチュウ ノ カッセイシュ ノ シンダン オヨビ ナノ マイクロ カコウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成19年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2007
• 報告番号: 甲第7525号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2007-E631
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008555252; http://id.ndl.go.jp/bib/000008555252
• 整理区分コード: 213