Studies on diagnostics of activated species in reactive plasmas and their applications to nano and micro fabrications

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on diagnostics of activated species in reactive plasmas and their applications to nano and micro fabrications
• Author/Editor: Keigo Takeda [著]
• Author Heading: 竹田, 圭吾 タケダ, ケイゴ
• Publication, Distribution, etc.: [Keigo Takeda]
• Publication Date: [2007]
• Publication Date (W3CDTF): 2007
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 反応性プラズマ中の活性種の診断およびナノ・マイクロ加工への応用に関する研究 ハンノウセイ プラズマチュウ ノ カッセイシュ ノ シンダン オヨビ ナノ マイクロ カコウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成19年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2007
• Dissertation Number: 甲第7525号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2007-E631
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008555252; http://id.ndl.go.jp/bib/000008555252
• Bibliographic Record Category (NDL): 213