Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空

• 資料種別: 雑誌
• ISSN: 1882-2398
• ISSN-L: 1882-2398
• タイトル: Journal of the Vacuum Society of Japan
• タイトルよみ: Journal of the Vacuum Society of Japan
• 巻次・部編番号: 53(7) 2010.7
• 著者標目: 日本真空協会 ニホン シンクウ キョウカイ ( 00294657 )典拠; 日本真空学会 ニホン シンクウ ガッカイ ( 001181284 )典拠
• 出版事項: 東京 : 日本真空協会
• 出版事項（最新）: 東京 : 日本真空学会
• 出版年月日等: 2010
• 出版年（W3CDTF）: 2010
• 出版表示等に関する注記: 出版者変遷: 日本真空学会 (55巻3号-60巻12号)
• 刊行巻次・年月次: 51巻1号 (2008年1月)-60巻12号 (2017年12月)
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: 真空 シンクウ
• その他のタイトル（略タイトル）: J. Vac. Soc. Jpn.
• その他のタイトル（キー・タイトル）: Journal of the Vacuum Society of Japan
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 著者別名: Vacuum Society of Japan
• NDLC: ZN15
• 総目次・総索引注記: 総目次あり
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-474
• 改題前: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000011964
• 改題後: 合併後 : 表面と真空 / 日本表面科学会, 日本真空学会 編 (ISSN:2433-5835); https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I028592749
• 改題後（ISSN）: 合併後 : 0388-5321; 合併後 : 2433-5835
• 別の記録形式（ISSN）: 他媒体版 : 1882-4749
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008601226; http://id.ndl.go.jp/bib/000008601226
• 全国書誌番号: 01018031
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 131

目次

小特集 シリコン深掘り加工技術

容量結合型プラズマによる高速シリコン深掘り技術 (小特集 シリコン深掘り加工技術)

Electron Cyclotron Resonance Plasmaを用いたシリコン深掘り技術 (小特集 シリコン深掘り加工技術)

磁気中性線放電(NLD)プラズマによるエッチング技術 (小特集 シリコン深掘り加工技術)

Bosch型エッチャーによるシリコン深掘り技術 (小特集 シリコン深掘り加工技術)