Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空

• Material Type: 雑誌
• ISSN: 1882-2398
• ISSN-L: 1882-2398
• Title: Journal of the Vacuum Society of Japan
• Title Transcription: Journal of the Vacuum Society of Japan
• Volume: 53(7) 2010.7
• Author Heading: 日本真空協会 ニホン シンクウ キョウカイ ( 00294657 )Authorities; 日本真空学会 ニホン シンクウ ガッカイ ( 001181284 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 日本真空協会
• Publication, distribution, etc. (Current/latest publisher): 東京 : 日本真空学会
• Publication Date: 2010
• Publication Date (W3CDTF): 2010
• Note (Publication, distribution, etc.): 出版者変遷: 日本真空学会 (55巻3号-60巻12号)
• Year and volume of publication: 51巻1号 (2008年1月)-60巻12号 (2017年12月)
• Size: 30cm
• Alternative Title: 真空 シンクウ
• Abbreviated Title: J. Vac. Soc. Jpn.
• Key Title: Journal of the Vacuum Society of Japan
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Alias of Author: Vacuum Society of Japan
• NDLC: ZN15
• Note (Cumulative Index): 総目次あり
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z16-474
• Replaces: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000011964
• Continues: 合併後 : 表面と真空 / 日本表面科学会, 日本真空学会 編 (ISSN:2433-5835); https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I028592749
• Continues (ISSN): 合併後 : 0388-5321; 合併後 : 2433-5835
• Has Format (ISSN): 他媒体版 : 1882-4749
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008601226; http://id.ndl.go.jp/bib/000008601226
• National Bibliography No. (JPNO): 01018031
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 131

Table of Contents

小特集 シリコン深掘り加工技術

容量結合型プラズマによる高速シリコン深掘り技術 (小特集 シリコン深掘り加工技術)

Electron Cyclotron Resonance Plasmaを用いたシリコン深掘り技術 (小特集 シリコン深掘り加工技術)

磁気中性線放電(NLD)プラズマによるエッチング技術 (小特集 シリコン深掘り加工技術)

Bosch型エッチャーによるシリコン深掘り技術 (小特集 シリコン深掘り加工技術)