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目次
56(10):2013.10
- MEMSデバイスの動向と真空技術の役割
p.403-408
- MEMS開発における解析支援技術
p.409-416
- RFマグネトロンスパッタリング法によるBaTiO₃薄膜の低温堆積と評価
p.417-421
- 合成樹脂を用いた材料の気体放出速度測定
p.422-424
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- ISSN
- 1882-2398
- ISSN-L
- 1882-2398
- タイトルよみ
- Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻次・部編番号
- 56巻10号 2013年10月
- 出版事項
- 出版事項(最新)
- 出版年月日等
- 2013