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Table of Contents
56(10):2013.10
- MEMSデバイスの動向と真空技術の役割
p.403-408
- MEMS開発における解析支援技術
p.409-416
- RFマグネトロンスパッタリング法によるBaTiO₃薄膜の低温堆積と評価
p.417-421
- 合成樹脂を用いた材料の気体放出速度測定
p.422-424
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 雑誌
- ISSN
- 1882-2398
- ISSN-L
- 1882-2398
- Title Transcription
- Journal of the Vacuum Society of Japan
- Volume
- 56巻10号 2013年10月
- Author Heading
- 日本真空協会 ニホン シンクウ キョウカイ ( 00294657 )Authorities日本真空学会 ニホン シンクウ ガッカイ ( 001181284 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication, distribution, etc. (Current/latest publisher)
- Publication Date
- 2013