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目次
60(6):2017.6
- スパッタリングプロセスにおける静的圧力分布,および動的圧力変化の実測
p.220-227
- 「堀越モデル」による長い配管の排気の考察
p.228-233
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- ISSN
- 1882-2398
- ISSN-L
- 1882-2398
- タイトルよみ
- Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻次・部編番号
- 60巻6号 2017年6月
- 出版事項
- 出版事項(最新)
- 出版年月日等
- 2017