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Table of Contents
60(6):2017.6
- スパッタリングプロセスにおける静的圧力分布,および動的圧力変化の実測
p.220-227
- 「堀越モデル」による長い配管の排気の考察
p.228-233
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 雑誌
- ISSN
- 1882-2398
- ISSN-L
- 1882-2398
- Title Transcription
- Journal of the Vacuum Society of Japan
- Volume
- 60巻6号 2017年6月
- Author Heading
- 日本真空協会 ニホン シンクウ キョウカイ ( 00294657 )Authorities日本真空学会 ニホン シンクウ ガッカイ ( 001181284 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication, distribution, etc. (Current/latest publisher)
- Publication Date
- 2017