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目次
60(8):2017.8
- 4H-SiCエピ層中の転位 (小特集 真空科学の最前線)
p.285-291
- アークプラズマによる酸化亜鉛導電膜機能設計 (小特集 真空科学の最前線)
p.292-299
- 酸化グラフェン塗布膜の高次還元と高移動度化 (小特集 真空科学の最前線)
p.300-306
- SiC結晶成長における数値解析の最近の発展 (小特集 真空科学の最前線)
p.313-320
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- ISSN
- 1882-2398
- ISSN-L
- 1882-2398
- タイトルよみ
- Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻次・部編番号
- 60巻8号 2017年8月
- 出版事項
- 出版事項(最新)
- 出版年月日等
- 2017