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60(8):2017.8
- 4H-SiCエピ層中の転位 (小特集 真空科学の最前線)
p.285-291
- アークプラズマによる酸化亜鉛導電膜機能設計 (小特集 真空科学の最前線)
p.292-299
- 酸化グラフェン塗布膜の高次還元と高移動度化 (小特集 真空科学の最前線)
p.300-306
- SiC結晶成長における数値解析の最近の発展 (小特集 真空科学の最前線)
p.313-320
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 雑誌
- Title Transcription
- Journal of the Vacuum Society of Japan
- Volume
- 60巻8号 2017年8月
- Author Heading
- 日本真空協会 ニホン シンクウ キョウカイ ( 00294657 )Authorities日本真空学会 ニホン シンクウ ガッカイ ( 001181284 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication, distribution, etc. (Current/latest publisher)
- Publication Date
- 2017
- Publication Date (W3CDTF)
- 2017
- Note (Publication, distribution, etc.)
- 出版者変遷: 日本真空学会 (55巻3号-60巻12号)