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Optical microlithography 20 : 27 February-2 March 2007 : San Jose, California, USA. : Feb 2007, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 6520)

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Optical microlithography 20 : 27 February-2 March 2007 : San Jose, California, USA. : Feb 2007, San Jose, CA.

(SPIE Proceedings ; 6520)

国立国会図書館請求記号
M17-07-1777
国立国会図書館書誌ID
000008715746
資料種別
図書
著者
SEMATECH, Inc.ほか
出版者
SPIE
出版年
c2007.
資料形態
ページ数・大きさ等
3 parts : ill. (some col.) ; 28 cm.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Papers.

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN(セット)
9780819466396 (set)
ISSN(シリーズ)
0277-786X
シリーズタイトル
出版事項
出版年月日等
c2007.
出版年(W3CDTF)
2007