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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- マグネトロン スパッタホウ オ モチイタ リュウカ アエン ノ テイオン セイマク ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 菅原智明 [著]
- 著者標目
- 菅原, 智明 スガワラ, トモアキ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2007]
- 出版年（W3CDTF）
- 2007
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 室蘭工業大学
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