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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- マグネトロン スパッタホウ オ モチイタ リュウカ アエン ノ テイオン セイマク ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 菅原智明 [著]
- Author Heading
- 菅原, 智明 スガワラ, トモアキ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2007]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2007
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 室蘭工業大学