プラズマプロセスを利用したシリコン結晶中欠陥検出技術およびシリコン表面清浄化の研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: プラズマプロセスを利用したシリコン結晶中欠陥検出技術およびシリコン表面清浄化の研究
• タイトルよみ: プラズマ プロセス オ リヨウシタ シリコン ケッショウチュウ ケッカン ケンシュツ ギジュツ オヨビ シリコン ヒョウメン セイジョウカ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 中嶋健次 [著]
• 著者標目: 中嶋, 健次 ナカシマ, ケンジ
• 出版事項: [中嶋健次]
• 出版年月日等: [2007]
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 大阪府立大学
• 授与年月日: 平成19年3月20日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2007
• 報告番号: 乙第1185号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2007-J954
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008810658; http://id.ndl.go.jp/bib/000008810658
• 整理区分コード: 213