プラズマプロセスを利用したシリコン結晶中欠陥検出技術およびシリコン表面清浄化の研究

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Material Type: 博士論文
Title: プラズマプロセスを利用したシリコン結晶中欠陥検出技術およびシリコン表面清浄化の研究
Title Transcription: プラズマプロセスオリヨウシタシリコンケッショウチュウケッカンケンシュツギジュツオヨビシリコンヒョウメンセイジョウカノケンキュウ
Author/Editor: 中嶋健次 [著]
Author Heading: 中嶋, 健次ナカシマ, ケンジ
Publication, Distribution, etc.: [中嶋健次]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪府立大学
Date Granted: 平成19年3月20日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 乙第1185号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-J954
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008810658
http://id.ndl.go.jp/bib/000008810658
Bibliographic Record Category (NDL): 213