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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ULSI タソウ ハイセン ケイセイ ノ タメ ノ ドウ テイユウデンリツマク ノ カガクテキ キカイ ケンマ ギジュツ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 石川彰 [著]
- 著者標目
- 石川, 彰 イシカワ, アキラ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2007]
- 出版年（W3CDTF）
- 2007
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Chemical mechanical polishing of copper and low-dielectric materials for ULSI multilevel interconnection