Monolithic PZT microstage with multi-degrees of freedom for the application of nanopositioning

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Monolithic PZT microstage with multi-degrees of freedom for the application of nanopositioning
• 著者・編者: Hegen Xu [著]
• 著者標目: 徐, 和根 ジョ, ワコン
• 出版事項: [Hegen Xu]
• 出版年月日等: [2006]
• 出版年（W3CDTF）: 2006
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: ナノポジショニング応用のための多自由度モノリシックPZTマイクロステージ ナノポジショニング オウヨウ ノ タメ ノ タジユウド モノリシック PZT マイクロステージ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成18年9月13日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2006
• 報告番号: 甲第11180号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 著者別名: Xu, Hegen
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2007-M52
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009085986; http://id.ndl.go.jp/bib/000009085986
• 整理区分コード: 213