博士論文

LSI金属配線におけるエレクトロマイグレーションによる金属原子移動挙動解析と寿命評価への応用

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LSI金属配線におけるエレクトロマイグレーションによる金属原子移動挙動解析と寿命評価への応用

国立国会図書館請求記号
UT51-2007-M476
国立国会図書館書誌ID
000009089415
資料種別
博士論文
著者
根本剛直 [著]
出版者
[根本剛直]
出版年
[2007]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
LSI キンゾク ハイセン ニ オケル エレクトロマイグレーション ニ ヨル キンゾク ゲンシ イドウ キョドウ カイセキ ト ジュミョウ ヒョウカ エ ノ オウヨウ
著者・編者
根本剛直 [著]
著者標目
根本, 剛直 ネモト, タケナオ
出版事項
出版年月日等
[2007]
出版年(W3CDTF)
2007
数量
1冊
授与機関名
東北大学