LSI金属配線におけるエレクトロマイグレーションによる金属原子移動挙動解析と寿命評価への応用

• Material Type: 博士論文
• Title: LSI金属配線におけるエレクトロマイグレーションによる金属原子移動挙動解析と寿命評価への応用
• Title Transcription: LSI キンゾク ハイセン ニ オケル エレクトロマイグレーション ニ ヨル キンゾク ゲンシ イドウ キョドウ カイセキ ト ジュミョウ ヒョウカ エ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 根本剛直 [著]
• Author Heading: 根本, 剛直 ネモト, タケナオ
• Publication, Distribution, etc.: [根本剛直]
• Publication Date: [2007]
• Publication Date (W3CDTF): 2007
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成19年3月27日
• Date Granted (W3CDTF): 2007
• Dissertation Number: 甲第11604号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2007-M476
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009089415; http://id.ndl.go.jp/bib/000009089415
• Bibliographic Record Category (NDL): 213