マイクロ/ナノスケール領域を対象とする高精度高速計測評価システムに関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: マイクロ/ナノスケール領域を対象とする高精度高速計測評価システムに関する研究
• タイトルよみ: マイクロ ナノスケール リョウイキ オ タイショウ ト スル コウセイド コウソク ケイソク ヒョウカ システム ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 元木健順 [著]
• 著者標目: 元木, 健順 モトキ, タケノリ
• 出版事項: [元木健順]
• 出版年月日等: [2007]
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成19年3月27日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2007
• 報告番号: 甲第11607号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2007-M479
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009089445; http://id.ndl.go.jp/bib/000009089445
• 整理区分コード: 213