マイクロ/ナノスケール領域を対象とする高精度高速計測評価システムに関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: マイクロ/ナノスケール領域を対象とする高精度高速計測評価システムに関する研究
Title Transcription: マイクロナノスケールリョウイキオタイショウトスルコウセイドコウソクケイソクヒョウカシステムニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 元木健順 [著]
Author Heading: 元木, 健順モトキ, タケノリ
Publication, Distribution, etc.: [元木健順]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成19年3月27日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 甲第11607号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-M479
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009089445
http://id.ndl.go.jp/bib/000009089445
Bibliographic Record Category (NDL): 213