DCパルス及びマイクロ波大気圧非平衡プラズマの分光診断と材料プロセスへの応用

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: DCパルス及びマイクロ波大気圧非平衡プラズマの分光診断と材料プロセスへの応用
• タイトルよみ: DC パルス オヨビ マイクロハ タイキアツ ヒヘイコウ プラズマ ノ ブンコウ シンダン ト ザイリョウ プロセス エ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 湯地敏史 [著]
• 著者標目: 湯地, 敏史 ユジ, トシフミ
• 出版事項: [湯地敏史]
• 出版年月日等: [2007]
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成19年3月26日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2007
• 報告番号: 甲第6845号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2007-P255
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009110465; http://id.ndl.go.jp/bib/000009110465
• 整理区分コード: 213