DCパルス及びマイクロ波大気圧非平衡プラズマの分光診断と材料プロセスへの応用

DCパルス及びマイクロ波大気圧非平衡プラズマの分光診断と材料プロセスへの応用

Call No. (NDL): UT51-2007-P255
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009110465

Material type: 博士論文

Author: 湯地敏史 [著]

Publisher: [湯地敏史]

Publication date: [2007]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東京工業大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: DCパルス及びマイクロ波大気圧非平衡プラズマの分光診断と材料プロセスへの応用
Title Transcription: DC パルスオヨビマイクロハタイキアツヒヘイコウプラズマノブンコウシンダントザイリョウプロセスエノオウヨウ
Author/Editor: 湯地敏史 [著]
Author Heading: 湯地, 敏史ユジ, トシフミ
Publication, Distribution, etc.: [湯地敏史]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成19年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 甲第6845号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-P255
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009110465
http://id.ndl.go.jp/bib/000009110465
Bibliographic Record Category (NDL): 213