Semiconductor industry : wafer fab exhaust management / J. Michael Sherer.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 1574447203 (alk. paper); 9781574447200 (alk. paper)
• タイトル: Semiconductor industry : wafer fab exhaust management / J. Michael Sherer.
• 著者標目: Sherer, J. Michael, 1958-
• 出版事項: Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis
• 出版年月日等: 2005.
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 数量: 194 p. ; 25 cm.
• 並列タイトル等: Wafer fab exhaust management
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Semiconductor wafers -- Design and construction.; Semiconductor industry -- Environmental aspects.; Volatile organic compounds -- Environmental aspects.; Air -- Purification -- Technological innovations.
• LCC: TK7871.85
• DDC: 621.3815/2/0286
• NDLC: ND371
• 一般注記: Related URL: Publisher description http: //www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0648/2005050566-d.html.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-B28
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009149908; http://id.ndl.go.jp/bib/000009149908
• LC control number: 2005050566; https://lccn.loc.gov/2005050566
• OCLC番号: 60543377; https://www.worldcat.org/oclc/60543377
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 211