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博士論文

電子ビーム近接効果補正法を用いた回折光学素子の自動設計

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電子ビーム近接効果補正法を用いた回折光学素子の自動設計

国立国会図書館請求記号
UT51-2007-R608
国立国会図書館書誌ID
000009176129
資料種別
博士論文
著者
岡野正登 [著]
出版者
[岡野正登]
出版年
[2007]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪府立大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
デンシ ビーム キンセツ コウカ ホセイホウ オ モチイタ カイセツ コウガク ソシ ノ ジドウ セッケイ
著者・編者
岡野正登 [著]
著者標目
岡野, 正登 オカノ, マサト
出版事項
出版年月日等
[2007]
出版年(W3CDTF)
2007
数量
1冊
授与機関名
大阪府立大学