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博士論文

電子ビーム近接効果補正法を用いた回折光学素子の自動設計

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電子ビーム近接効果補正法を用いた回折光学素子の自動設計

Call No. (NDL)
UT51-2007-R608
Bibliographic ID of National Diet Library
000009176129
Material type
博士論文
Author
岡野正登 [著]
Publisher
[岡野正登]
Publication date
[2007]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
大阪府立大学,博士 (工学)
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Note (General):

博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
デンシ ビーム キンセツ コウカ ホセイホウ オ モチイタ カイセツ コウガク ソシ ノ ジドウ セッケイ
Author/Editor
岡野正登 [著]
Author Heading
岡野, 正登 オカノ, マサト
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2007]
Publication Date (W3CDTF)
2007
Extent
1冊
Degree grantor/type
大阪府立大学