電子ビーム近接効果補正法を用いた回折光学素子の自動設計

電子ビーム近接効果補正法を用いた回折光学素子の自動設計

Call No. (NDL): UT51-2007-R608
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009176129

Material type: 博士論文

Author: 岡野正登 [著]

Publisher: [岡野正登]

Publication date: [2007]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 大阪府立大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 電子ビーム近接効果補正法を用いた回折光学素子の自動設計
Title Transcription: デンシビームキンセツコウカホセイホウオモチイタカイセツコウガクソシノジドウセッケイ
Author/Editor: 岡野正登 [著]
Author Heading: 岡野, 正登オカノ, マサト
Publication, Distribution, etc.: [岡野正登]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪府立大学
Date Granted: 平成19年9月30日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 甲第1092号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2007-R608
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009176129
http://id.ndl.go.jp/bib/000009176129
Bibliographic Record Category (NDL): 213