Advances and challenges in chemical mechanical planarization : symposium held April 10-12, 2007, San Francisco, California, U.S.A. : MRS spring meeting : symposium C, "advances and challenges in chemical mechanical planarization" : Apr 2007, San Francisco, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781558999510
• タイトル: Advances and challenges in chemical mechanical planarization : symposium held April 10-12, 2007, San Francisco, California, U.S.A. : MRS spring meeting : symposium C, "advances and challenges in chemical mechanical planarization" : Apr 2007, San Francisco, CA.
• シリーズタイトル: Materials Research Society Symposia Proceedings ; 991
• タイトル標目: Materials Research Society symposia proceedings ; v. 991.
• 著者標目: Zwicker, Gerfried.; Symposium C, "Advances and Challenges in Chemical Mechanical Planarization" (2007 : San Francisco, Calif.)
• 出版事項: Warrendale : Materials Research Society
• 出版年月日等: c2007.
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: xi, 371 p. : ill. ; 24 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Semiconductors -- Materials -- Congresses.; Semiconductors -- Surfaces -- Congresses.; Chemical mechanical planarization -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-08-301
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009215167; http://id.ndl.go.jp/bib/000009215167
• OCLC番号: 181599360; https://www.worldcat.org/oclc/181599360
• 整理区分コード: 215