Comprehensive microsystems / editors-in-chief, Yogesh B. Gianchandani, Osamu Tabata, Hans Zappe.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9780444521910 (v. 1 : hbk.); 9780444521927 (v. 2 : hbk.); 9780444521934 (v. 3 : hbk.)
• ISBN（セット）: 9780444521941 (set : hbk.); 0444521941 (set : hbk.)
• タイトル: Comprehensive microsystems / editors-in-chief, Yogesh B. Gianchandani, Osamu Tabata, Hans Zappe.
• 著者標目: Gianchandani, Yogesh B.; 田畑, 修, 1956- タバタ, オサム, 1956- ( 00674558 )典拠; Zappe, Hans P.
• 出版事項: Amsterdam : Elsevier; Oxford : Elsevier
• 出版年月日等: c2008.
• 出版年（W3CDTF）: 2008
• 数量: 3 v. : ill. (some col.) ; 27 cm.
• 出版地（国名コード）: NL
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Microelectromechanical systems.
• LCC: TK7875
• NDLC: ND416
• 一般注記: Related URL: http: //www.sciencedirect.com/science/referenceworks/9780444521903.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND416-B19
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009223130; http://id.ndl.go.jp/bib/000009223130
• OCLC番号: 225171209; https://www.worldcat.org/oclc/225171209
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 211

• 内容細目: v. 1. Materials ; Fabrication and packaging ; Electronics and systems designv. 2. Actuation mechanism ; Physical sensing ; Chemical and biological sys...