Proceedings of the Forum on the Science and Technology of Silicon Materials : November 12-14, 2007 Toki Messe, Niigata, Japan. 2007

• 資料種別: 図書
• タイトル: Proceedings of the Forum on the Science and Technology of Silicon Materials : November 12-14, 2007 Toki Messe, Niigata, Japan
• 巻次・部編番号: 2007
• 著者・編者: editors: H. Yamada-Kaneta, H. Ono; organized by: The Organizing Committee of The Silicon Materials Science and Technology Forum
• 著者標目: 金田, 寛 カネタ, ヒロシ ( 00939685 )典拠; 小野, 春彦 オノ, ハルヒコ ( 01117241 )典拠
• 出版事項: Niigata : Shinkokusoku Printing
• 出版年月日等: c2007
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: 387 p.
• 大きさ: 30 cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: M18
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M18-B741
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009238306; http://id.ndl.go.jp/bib/000009238306
• 全国書誌番号: 21381584
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 113

目次

Contents

Preface/ iii

Acknowledgements/ iv

A. Plenary

1. Silicon crystal technologies for ultra large scale integration/ 1