ナノデバイス製造用超精密・微細加工システムの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: ナノデバイス製造用超精密・微細加工システムの開発
• タイトルよみ: ナノデバイス セイゾウヨウ チョウセイミツ ビサイ カコウ システム ノ カイハツ
• 著者・編者: 新野秀憲, 東京工業大学 [著]
• 著者標目: 著者 ： 新野, 秀憲 シンノ, ヒデノリ ( 01070283 )典拠; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク ( 00259309 )典拠
• 出版事項: [新野秀憲]
• 出版年月日等: 2002-2006; 2007.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2006
• 数量: 101p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(S)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ナノメートル位置決め / 空気静圧案内 / リニアモータ / 高速・超精密スピンドル / 熱変形抑制 / インプロセスセンサ / 超精密加工 / 工作機械 ナノメートル イチギメ / クウキ セイアツ アンナイ / リニアモータ / コウソク ・ チョウセイミツ スピンドル / ネツ ヘンケイ ヨクセイ / インプロセスセンサ / チョウセイミツ カコウ / コウサク キカイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14102015
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14102015
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009279079; http://id.ndl.go.jp/bib/000009279079
• 整理区分コード: 214