ナノデバイス製造用超精密・微細加工システムの開発

Call No. (NDL): Y151-H14102015
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009279079

Material type: 図書

Author: 新野秀憲, 東京工業大学 [著]

Publisher: [新野秀憲]

Publication date: 2002-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 101p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: ナノデバイス製造用超精密・微細加工システムの開発
Title Transcription: ナノデバイスセイゾウヨウチョウセイミツビサイカコウシステムノカイハツ
Author/Editor: 新野秀憲, 東京工業大学 [著]
Author Heading: 著者：新野, 秀憲シンノ, ヒデノリ ( 01070283 )Authorities
東京工業大学トウキョウコウギョウダイガク ( 00259309 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [新野秀憲]
Publication Date: 2002-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2006
Extent: 101p
Additional Title: 研究種目基盤研究(S)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ナノメートル位置決め / 空気静圧案内 / リニアモータ / 高速・超精密スピンドル / 熱変形抑制 / インプロセスセンサ / 超精密加工 / 工作機械ナノメートルイチギメ / クウキセイアツアンナイ / リニアモータ / コウソク・チョウセイミツスピンドル / ネツヘンケイヨクセイ / インプロセスセンサ / チョウセイミツカコウ / コウサクキカイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14102015
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14102015
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009279079
http://id.ndl.go.jp/bib/000009279079
Bibliographic Record Category (NDL): 214