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博士論文

Fabrication of novel n- and p-type crystal Si films from chlorinated materials by rf plasma-enhanced chemical vapor deposition and their applications to Si thin-film solar cells

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Fabrication of novel n- and p-type crystal Si films from chlorinated materials by rf plasma-enhanced chemical vapor deposition and their applications to Si thin-film solar cells

国立国会図書館請求記号
UT51-2007-T508
国立国会図書館書誌ID
000009284577
資料種別
博士論文
著者
李亜麗 [著]
出版者
[李亜麗]
出版年
[2007]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
埼玉大学,博士 (工学)
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資料に関する注記

一般注記:

博士論文授与名簿の本タイトル: Fabrication of novel n- and p-type crystal silicon films from chlorinated materials by rf plasma-enhanced chemical vapor deposition an...

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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
李亜麗 [著]
著者標目
李, 亜麗 リ, ヤリ
出版事項
出版年月日等
[2007]
出版年(W3CDTF)
2007
数量
1冊
並列タイトル等
塩素系原料を出発原料としたrfプラズマCVD法による新規nおよびp型微結晶Si薄膜の作製およびSi薄膜太陽電池への応用に関する研究 エンソケイ ゲンリョウ オ シュッパツ ゲンリョウ ト シタ rf プラズマ CVDホウ ニ ヨル シンキ n オヨビ pガタ ビケッショウ Si ハクマク ノ サクセイ オヨビ Si ハクマク タイヨウ デンチ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
埼玉大学