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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 李亜麗 [著]
- 著者標目
- 李, 亜麗 リ, ヤリ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2007]
- 出版年(W3CDTF)
- 2007
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 塩素系原料を出発原料としたrfプラズマCVD法による新規nおよびp型微結晶Si薄膜の作製およびSi薄膜太陽電池への応用に関する研究 エンソケイ ゲンリョウ オ シュッパツ ゲンリョウ ト シタ rf プラズマ CVDホウ ニ ヨル シンキ n オヨビ pガタ ビケッショウ Si ハクマク ノ サクセイ オヨビ Si ハクマク タイヨウ デンチ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 埼玉大学