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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 李亜麗 [著]
- Author Heading
- 李, 亜麗 リ, ヤリ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2007]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2007
- Extent
- 1冊
- Alternative Title
- 塩素系原料を出発原料としたrfプラズマCVD法による新規nおよびp型微結晶Si薄膜の作製およびSi薄膜太陽電池への応用に関する研究 エンソケイ ゲンリョウ オ シュッパツ ゲンリョウ ト シタ rf プラズマ CVDホウ ニ ヨル シンキ n オヨビ pガタ ビケッショウ Si ハクマク ノ サクセイ オヨビ Si ハクマク タイヨウ デンチ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Degree grantor/type
- 埼玉大学