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炭化ケイ素単結晶基板における欠陥形成機構の解明と欠陥密度低減方法の開発

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炭化ケイ素単結晶基板における欠陥形成機構の解明と欠陥密度低減方法の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H17360338
国立国会図書館書誌ID
000009296982
資料種別
図書
著者
黒田光太郎, 名古屋大学 [著]
出版者
[黒田光太郎]
出版年
2005-2006
資料形態
ページ数・大きさ等
49枚
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
タンカ ケイソ タンケッショウ キバン ニ オケル ケッカン ケイセイ キコウ ノ カイメイ ト ケッカン ミツド テイゲン ホウホウ ノ カイハツ
著者・編者
黒田光太郎, 名古屋大学 [著]
著者標目
著者 : 黒田, 光太郎, 1947- クロダ, コウタロウ, 1947- ( 00963768 )典拠
名古屋大学 ナゴヤ ダイガク ( 00260057 )典拠
出版事項
出版年月日等
2005-2006
2007.3
出版年(W3CDTF)
2005
2006
数量
49枚
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)