炭化ケイ素単結晶基板における欠陥形成機構の解明と欠陥密度低減方法の開発

Call No. (NDL): Y151-H17360338
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009296982

Material type: 図書

Author: 黒田光太郎, 名古屋大学 [著]

Publisher: [黒田光太郎]

Publication date: 2005-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 49枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 炭化ケイ素単結晶基板における欠陥形成機構の解明と欠陥密度低減方法の開発
Title Transcription: タンカケイソタンケッショウキバンニオケルケッカンケイセイキコウノカイメイトケッカンミツドテイゲンホウホウノカイハツ
Author/Editor: 黒田光太郎, 名古屋大学 [著]
Author Heading: 著者：黒田, 光太郎, 1947- クロダ, コウタロウ, 1947- ( 00963768 )Authorities
名古屋大学ナゴヤダイガク ( 00260057 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [黒田光太郎]
Publication Date: 2005-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 49枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: セラミックス / 機能材料 / 半導体 / エピタキシャル / 電子顕微鏡 / 断面観察 / 積層欠陥 / 双晶セラミックス / キノウザイリョウ / ハンドウタイ / エピタキシャル / デンシケンビキョウ / ダンメンカンサツ / セキソウケッカン / ソウショウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17360338
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17360338
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009296982
http://id.ndl.go.jp/bib/000009296982
Bibliographic Record Category (NDL): 214