MEMSのための機能性表面の創成法の開発と評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: MEMSのための機能性表面の創成法の開発と評価
• タイトルよみ: MEMS ノ タメ ノ キノウセイ ヒョウメン ノ ソウセイホウ ノ カイハツ ト ヒョウカ
• 著者・編者: 梅原徳次, 名古屋大学 [著]
• 著者標目: 梅原, 徳次 ウメハラ, ノリツグ; 名古屋大学 ナゴヤ ダイガク
• 出版事項: [梅原徳次]
• 出版年月日等: 2004-2006; 2007.3
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2006
• 数量: 328p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 機能性表面 / 摩擦 / パターニング / プラズマ / イオンビーム / CNx キノウセイ ヒョウメン / マサツ / パターニング / プラズマ / イオンビーム / CNx
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16360066
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16360066
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009297161; http://id.ndl.go.jp/bib/000009297161
• 整理区分コード: 214