MEMSのための機能性表面の創成法の開発と評価

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Material Type: 図書
Title: MEMSのための機能性表面の創成法の開発と評価
Title Transcription: MEMS ノタメノキノウセイヒョウメンノソウセイホウノカイハツトヒョウカ
Author/Editor: 梅原徳次, 名古屋大学 [著]
Author Heading: 梅原, 徳次ウメハラ, ノリツグ
名古屋大学ナゴヤダイガク
Publication, Distribution, etc.: [梅原徳次]
Publication Date: 2004-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2004
2006
Extent: 328p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 機能性表面 / 摩擦 / パターニング / プラズマ / イオンビーム / CNx キノウセイヒョウメン / マサツ / パターニング / プラズマ / イオンビーム / CNx
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16360066
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16360066
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009297161
http://id.ndl.go.jp/bib/000009297161
Bibliographic Record Category (NDL): 214