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単結晶SiCナノ構造薄膜層がナノサーフェスインテグリティーに及ぼす影響

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単結晶SiCナノ構造薄膜層がナノサーフェスインテグリティーに及ぼす影響

国立国会図書館請求記号
Y151-H16206015
国立国会図書館書誌ID
000009299513
資料種別
図書
著者
古川勇二, 東京農工大学 [著]
出版者
[古川勇二]
出版年
2004-2006
資料形態
ページ数・大きさ等
2, 102p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
タンケッショウ SiC ナノ コウゾウ ハクマクソウ ガ ナノサーフェス インテグリティー ニ オヨボス エイキョウ
著者・編者
古川勇二, 東京農工大学 [著]
著者標目
古川, 勇二 フルカワ, ユウジ
東京農工大学 トウキョウ ノウコウ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2004-2006
2007.5
出版年(W3CDTF)
2004
2006
数量
2, 102p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)