単結晶SiCナノ構造薄膜層がナノサーフェスインテグリティーに及ぼす影響

• 資料種別: 図書
• タイトル: 単結晶SiCナノ構造薄膜層がナノサーフェスインテグリティーに及ぼす影響
• タイトルよみ: タンケッショウ SiC ナノ コウゾウ ハクマクソウ ガ ナノサーフェス インテグリティー ニ オヨボス エイキョウ
• 著者・編者: 古川勇二, 東京農工大学 [著]
• 著者標目: 古川, 勇二 フルカワ, ユウジ; 東京農工大学 トウキョウ ノウコウ ダイガク
• 出版事項: [古川勇二]
• 出版年月日等: 2004-2006; 2007.5
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2006
• 数量: 2, 102p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: SiC / 薄膜層 / サーフェスインテグリティー / ナノ構造 / エピタキシ / MEMS / インデンテーション / YAGレーザ SiC / ハクマクソウ / サーフェスインテグリティー / ナノ コウゾウ / エピタキシ / MEMS / インデンテーション / YAG レーザ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16206015
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16206015
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009299513; http://id.ndl.go.jp/bib/000009299513
• 整理区分コード: 214