単結晶SiCナノ構造薄膜層がナノサーフェスインテグリティーに及ぼす影響

Call No. (NDL): Y151-H16206015
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009299513

Material type: 図書

Author: 古川勇二, 東京農工大学 [著]

Publisher: [古川勇二]

Publication date: 2004-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 2, 102p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 単結晶SiCナノ構造薄膜層がナノサーフェスインテグリティーに及ぼす影響
Title Transcription: タンケッショウ SiC ナノコウゾウハクマクソウガナノサーフェスインテグリティーニオヨボスエイキョウ
Author/Editor: 古川勇二, 東京農工大学 [著]
Author Heading: 古川, 勇二フルカワ, ユウジ
東京農工大学トウキョウノウコウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [古川勇二]
Publication Date: 2004-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2006
Extent: 2, 102p
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: SiC / 薄膜層 / サーフェスインテグリティー / ナノ構造 / エピタキシ / MEMS / インデンテーション / YAGレーザ SiC / ハクマクソウ / サーフェスインテグリティー / ナノコウゾウ / エピタキシ / MEMS / インデンテーション / YAG レーザ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16206015
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16206015
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009299513
http://id.ndl.go.jp/bib/000009299513
Bibliographic Record Category (NDL): 214