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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- キンゾク ビリュウシ エンヨウ エッチング ニ ヨル ポーラス シリコン ノ サクセイ ト ソノ コウゾウ セイギョ
- 著者・編者
- 八重真治, 兵庫県立大学 [著]
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2005-20062007.5
- 出版年（W3CDTF）
- 20052006
- 数量
- 98枚
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
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