金属微粒子援用エッチングによるポーラスシリコンの作製とその構造制御

Call No. (NDL): Y151-H17560638
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009301015

Material type: 図書

Author: 八重真治, 兵庫県立大学 [著]

Publisher: [八重真治]

Publication date: 2005-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 98枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 金属微粒子援用エッチングによるポーラスシリコンの作製とその構造制御
Title Transcription: キンゾクビリュウシエンヨウエッチングニヨルポーラスシリコンノサクセイトソノコウゾウセイギョ
Author/Editor: 八重真治, 兵庫県立大学 [著]
Author Heading: 八重, 真治ヤエ, シンジ
兵庫県立大学ヒョウゴケンリツダイガク
Publication, Distribution, etc.: [八重真治]
Publication Date: 2005-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 98枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: シリコン / 多孔質 / 金属超微粒子 / 光電気化学 / 無電解めっき / パターニング / 湿式プロセス / 表面処理シリコン / タコウシツ / キンゾクチョウビリュウシ / ヒカリデンキカガク / ムデンカイメッキ / パターニング / シッシキプロセス / ヒョウメンショリ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17560638
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17560638
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009301015
http://id.ndl.go.jp/bib/000009301015
Bibliographic Record Category (NDL): 214