非接触過渡容量分光法によるHigh-kゲート絶縁膜及びその界面現象の解明

• 資料種別: 図書
• タイトル: 非接触過渡容量分光法によるHigh-kゲート絶縁膜及びその界面現象の解明
• タイトルよみ: ヒセッショク カト ヨウリョウ ブンコウホウ ニ ヨル High-k ゲート ゼツエンマク オヨビ ソノ カイメン ゲンショウ ノ カイメイ
• 著者・編者: 吉田晴彦, 兵庫県立大学 [著]
• 著者標目: 吉田, 晴彦 ヨシダ, ハルヒコ; 兵庫県立大学 ヒョウゴ ケンリツ ダイガク
• 出版事項: [吉田晴彦]
• 出版年月日等: 2005-2006; 2007.3
• 出版年（W3CDTF）: 2005; 2006
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: High-k絶縁膜 / 非接触評価 / 界面トラップ / フェルミピニング / 過渡容量分光法 / C-V法 High-k ゼツエンマク / ヒセッショク ヒョウカ / カイメン トラップ / フェルミピニング / カト ヨウリョウ ブンコウホウ / C-Vホウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 17560012
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H17560012
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009301045; http://id.ndl.go.jp/bib/000009301045
• 整理区分コード: 214