非接触過渡容量分光法によるHigh-kゲート絶縁膜及びその界面現象の解明

Call No. (NDL): Y151-H17560012
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009301045

Material type: 図書

Author: 吉田晴彦, 兵庫県立大学 [著]

Publisher: [吉田晴彦]

Publication date: 2005-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 非接触過渡容量分光法によるHigh-kゲート絶縁膜及びその界面現象の解明
Title Transcription: ヒセッショクカトヨウリョウブンコウホウニヨル High-k ゲートゼツエンマクオヨビソノカイメンゲンショウノカイメイ
Author/Editor: 吉田晴彦, 兵庫県立大学 [著]
Author Heading: 吉田, 晴彦ヨシダ, ハルヒコ
兵庫県立大学ヒョウゴケンリツダイガク
Publication, Distribution, etc.: [吉田晴彦]
Publication Date: 2005-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: High-k絶縁膜 / 非接触評価 / 界面トラップ / フェルミピニング / 過渡容量分光法 / C-V法 High-k ゼツエンマク / ヒセッショクヒョウカ / カイメントラップ / フェルミピニング / カトヨウリョウブンコウホウ / C-Vホウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17560012
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17560012
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009301045
http://id.ndl.go.jp/bib/000009301045
Bibliographic Record Category (NDL): 214