Deposition processing and electrical characterization of nano-crystalline cubic boron nitride thin films

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Deposition processing and electrical characterization of nano-crystalline cubic boron nitride thin films
• 著者・編者: Kenji Nose [著]
• 著者標目: 野瀬, 健二 ノセ, ケンジ
• 出版事項: [Kenji Nose]
• 出版年月日等: [2007]
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: ナノ結晶cBN薄膜の堆積プロセシングと電気物性評価 ナノ ケッショウ cBN ハクマク ノ タイセキ プロセシング ト デンキ ブッセイ ヒョウカ
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成19年3月22日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2007
• 報告番号: 甲第22325号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2007-U495
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009304860; http://id.ndl.go.jp/bib/000009304860
• 整理区分コード: 213