Deposition processing and electrical characterization of nano-crystalline cubic boron nitride thin films

• Material Type: 博士論文
• Title: Deposition processing and electrical characterization of nano-crystalline cubic boron nitride thin films
• Author/Editor: Kenji Nose [著]
• Author Heading: 野瀬, 健二 ノセ, ケンジ
• Publication, Distribution, etc.: [Kenji Nose]
• Publication Date: [2007]
• Publication Date (W3CDTF): 2007
• Extent: 1冊
• Alternative Title: ナノ結晶cBN薄膜の堆積プロセシングと電気物性評価 ナノ ケッショウ cBN ハクマク ノ タイセキ プロセシング ト デンキ ブッセイ ヒョウカ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成19年3月22日
• Date Granted (W3CDTF): 2007
• Dissertation Number: 甲第22325号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2007-U495
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009304860; http://id.ndl.go.jp/bib/000009304860
• Bibliographic Record Category (NDL): 213