軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究
• タイトルよみ: ジク タイショウ カイテンタイ ノ ソクヒョウメンジョウ エ ノ ヒカリ リソグラフィ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 堀内敏行, 東京電機大学 [著]
• 著者標目: 堀内, 敏行 ホリウチ, トシユキ; 東京電機大学 トウキョウ デンキ ダイガク
• 出版事項: [堀内敏行]
• 出版年月日等: 2005-2006; 2007.6
• 出版年（W3CDTF）: 2005; 2006
• 数量: 116枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 光リソグラフィ / リソグラフィ / 軸対称回転体 / 側表面 / 露光 / マイクロ部品 / マイクロコイル ヒカリ リソグラフィ / リソグラフィ / ジク タイショウ カイテンタイ / ガワ ヒョウメン / ロコウ / マイクロ ブヒン / マイクロコイル
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 17560036
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H17560036
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009305084; http://id.ndl.go.jp/bib/000009305084
• 整理区分コード: 214