軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究

Call No. (NDL): Y151-H17560036
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009305084

Material type: 図書

Author: 堀内敏行, 東京電機大学 [著]

Publisher: [堀内敏行]

Publication date: 2005-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 116枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究
Title Transcription: ジクタイショウカイテンタイノソクヒョウメンジョウエノヒカリリソグラフィギジュツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 堀内敏行, 東京電機大学 [著]
Author Heading: 堀内, 敏行ホリウチ, トシユキ
東京電機大学トウキョウデンキダイガク
Publication, Distribution, etc.: [堀内敏行]
Publication Date: 2005-2006
2007.6
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 116枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 光リソグラフィ / リソグラフィ / 軸対称回転体 / 側表面 / 露光 / マイクロ部品 / マイクロコイルヒカリリソグラフィ / リソグラフィ / ジクタイショウカイテンタイ / ガワヒョウメン / ロコウ / マイクロブヒン / マイクロコイル
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17560036
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17560036
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009305084
http://id.ndl.go.jp/bib/000009305084
Bibliographic Record Category (NDL): 214